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霍尔开关在液体微压传感器种的应用

来源：华芯霍尔元件浏览：0 发布日期：2021-07-21 08:43:59【大中小】

微压传感器技术越来越广泛地应用于军事工业生物医学。航空航天等围民经济的各个领域。随着科学的深入研究，科学技术的不断进步，应用领域对微压传感器器的灵敏度、线性度、可靠性和分辨率的要求也越来越高。

一种霍尔检测方式的磁性液体微压传感器，包括压力平衡腔壳体。第一永磁体、保持架、霍尔开关、霍尔安装架、第二永磁体、磁性液体、压力调节阀等部分。

当壳体右侧通孔没有加压力，即移动部件右侧与左侧不存在压差时，第一永磁体与第二永磁体以壳体中心为原点，即霍尔所在位置为中心，在大气环境下会产生一个轴对称的不均匀磁场，垂直穿过霍尔开关左、右方向的磁场强度在原点大小为零，并以原点为中心沿左、右方向逐渐增加，星对称分布。但由于实际工况的各种影响因素，例如温度、压强等，都会导致移动部件无法处于壳体原点，即霍尔开关所在位置，从而无法保证在大气环境下壳体中心位置磁场强度为零，进而无法使输出零点电压为零。所以，通过在壳体的左端安装压力平衡腔和压力调节阀。当在大气环境下时，若存在零点电压，即移动部件未处于中心平衡位置时，通过打开压力调节阀，在压力平衡腔内充入或抽出一定的气体，使移动部件的初始状态处于壳体的中心平衡位置，然后关闭压力调节阀，之后再进行加压并检测输出电压信号。当壳体右侧存在外加压力P时，压差使得移动部件向右(左)移动，则使得第一(第二)永磁体靠近霍尔，从面穿过霍尔的磁场强度增加进而通过霍尔开关检测出精确的输出电压信号。在100Pa以下的压力范围内，压力差的大小和输出的电压值成线性关系，且线性度小于1%。

用霍尔开关的检测方式的结构能够更好更精确的得到输出信号，而采用密闭腔室的压力作为回复力可以有效提高传感器的线性度，从而可以满足工程需要。

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